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Structure and properties of CrSiN nanocomposite coatings deposited by hybrid modulated pulsed power and pulsed dc magnetron sputtering

材料科学纳米复合材料溅射沉积脉冲直流溅射无定形固体腔磁控管涂层复合材料冶金薄膜纳米技术结晶学化学

作者

Jianliang Lin,Bo Wang,Yixiang Ou,William D. Sproul,I. Dahan,John J. Moore

出处

期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
日期：2012-11-23 卷期号：216: 251-258 被引量：78

标识

DOI：10.1016/j.surfcoat.2012.11.053

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