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Deposition of BN films on metal substrates from a fluorine-containing plasma

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作者

Tatsumi Usamia,Tetsuo Asaji,Seiichiro Matsumoto,H. Kanda,K. Nakamura

出处

期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
日期：2008-06-07 卷期号：203 (8): 929-933 被引量：10

标识

DOI：10.1016/j.surfcoat.2008.06.017

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