Development of microencapsulated phase change material slurry for diamond wire sawing silicon wafer and its effect on cutting quality

材料科学 泥浆 薄脆饼 钻石 冶金 复合材料 相变 纳米技术 工程物理 工程类
作者
Chunyan Yao,Yu Xiang,Lei Feng,Fanyue Wang,Minghuan Wang,Qiaoling Yuan
出处
期刊:Journal of Manufacturing Processes [Elsevier BV]
卷期号:127: 421-432 被引量:5
标识
DOI:10.1016/j.jmapro.2024.07.132
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