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Enhancing surface quality of p-type silicon wafers by ozone-assisted two-step texturization

材料科学 薄脆饼 硅 质量（理念） 臭氧 曲面（拓扑） 化学工程 纳米技术 光电子学 有机化学 几何学 化学 工程类 哲学 数学 认识论
作者
Mohd Norizam Md Daud,Amin Aadenan,Lim Chin Haw,Najah Syahirah Mohd Nor,Mohd Adib Ibrahim,Mohd Asri Mat Teridi
出处
期刊：Journal of Materials Science: Materials in Electronics [Springer Science+Business Media]
日期：2025-02-01 卷期号：36 (5)
标识
DOI：10.1007/s10854-025-14412-y
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