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Reliability Issues and Role of Defects in High-k Dielectric HfO2 Devices

可靠性（半导体）材料科学电介质可靠性工程光电子学高-κ电介质工程物理物理热力学工程类功率（物理）

作者

Joongoo Joongoo,Dae Joong Yeon,Agnieszka J. Klemm

出处

期刊：Journal of the Korean Physical Society [Springer Science+Business Media]
日期：2007-03-15 卷期号：50 (3): 552-552 被引量：9

标识

DOI：10.3938/jkps.50.552

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