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Effect of substrate temperature on growth mechanism and properties of PEALD-MgO dielectric films for amorphous-IGZO TFTs
材料科学
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作者
Zhan-Bo Su,
Xiaoying Zhang,
Xiao Lin,
Xiaolong Li,
Cheng-Xiang Quan,
Chia‐Hsun Hsu,
Peng Gao,
Wan-Yu Wu,
Dong‐Sing Wuu,
Feng‐Min Lai,
Shui‐Yang Lien
出处
期刊：
Surface & Coatings Technology
[Elsevier BV]
日期：2024-04-21
卷期号：483: 130819-130819
被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.surfcoat.2024.130819
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