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Characterization of thin-film amorphous semiconductors using spectroscopic ellipsometry

椭圆偏振法 薄膜 材料科学 无定形固体 氮化硅 非晶硅 碳膜 带隙 无定形碳 硅 分析化学（期刊） 光学 光电子学 纳米技术 化学 结晶学 晶体硅 物理 有机化学
作者
G. E. Jellison,V. I. Merkulov,Alexander A. Puretzky,David B. Geohegan,Gyula Eres,D. H. Lowndes,J. B. O. Caughman
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2000-12-01 卷期号：377-378: 68-73 被引量：159
标识
DOI：10.1016/s0040-6090(00)01384-5
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