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Effect of Al doping on structural and electrical properties of HfO2/ZrO2 layered structures for high-k applications

兴奋剂 材料科学 工程物理 纳米技术 光电子学 物理
作者
Yeon-Ji Jeon,Seungwon Lee,Yoonchul Shin,Jihwan Kim,Chang Mo Yoon,Ji‐Hoon Ahn
出处
期刊：Journal of Alloys and Compounds [Elsevier BV]
日期：2024-11-19 卷期号：1010: 177682-177682 被引量：3
标识
DOI：10.1016/j.jallcom.2024.177682
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