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作者
Julio C. Carrillo-Sendejas,
Rosa Reyes-Molina,
Svetlana Mansurova,
Yuriy Kudriavtsev,
O. Baldovino-Pantaleón,
Antonio J. Olivares,
Ismael Cosme
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期：2022-12-02
卷期号：155: 107240-107240
被引量：4
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2022.107240
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