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Deposition and characterisation of c-axis oriented AlScN thin films via microwave plasma-assisted reactive HiPIMS

高功率脉冲磁控溅射 材料科学 薄膜 分析化学（期刊） 溅射沉积 纤锌矿晶体结构 弹性后坐力检测 溅射 纳米技术 化学 冶金 色谱法 锌
作者
L. Lapeyre,Caroline Hain,Patrick Sturm,J. Metzger,Aurelio Borzì,K. Wieczerzak,Patrice Raynaud,Johann Michler,Thomas Nelis
出处
期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier]
日期：2023-05-01 卷期号：464: 129540-129540 被引量：8
链接
lib4ri.ch hal.sciencedoi.org
标识
DOI：10.1016/j.surfcoat.2023.129540
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