Simulation and investigation of high-frequency Si-based piezoelectric micromachined ultrasonic transducer (PMUT) performances

PMUT公司 材料科学 压电 超声波传感器 锆钛酸铅 传感器 声学 电容式微机械超声换能器 氮化物 光电子学 电介质 铁电性 复合材料 物理 图层(电子)
作者
Hasnizah Aris,N. A. A. Kaharuddin,Zaliman Sauli,Azlan Abdul Aziz,W. M. W. Norhaimi
出处
期刊:Nucleation and Atmospheric Aerosols 卷期号:3050: 030046-030046
标识
DOI:10.1063/5.0192077
摘要

The application of ultrasonic transducers is relying on the frequency which the transducers resonated. In the imaging application, an ultrasonic transducer should possess resonant frequency that higher than 2 MHz while in ultrasound testing, a range of 2 to 10 MHz is seeming to be adequate. This report is investigating the performance of high frequency Si-based PMUT with different piezoelectric material used in the structure. The piezoelectric materials used are Aluminium Nitride (AlN), Lead Zirconate Titanate (PZT), and Zinc Oxide (ZnO). Using the same dimensions, the obtained resonant frequencies of PMUT are 4.0370 MHz, 2.8224 MHz, and 3.4358 MHz for AlN, PZT and ZnO respectively.

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