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A new secondary ion mass spectrometry (SIMS) system with high-intensity cluster ion source
作者
Jiro Matsuo,
Chihiro Okubo,
Toshio Seki,
Takaaki Aoki,
Noriaki Toyoda,
Isao Yamada
出处
期刊：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-beam Interactions With Materials and Atoms
[Elsevier BV]
日期：2004-02-21
卷期号：219-220: 463-467
被引量：66
标识
DOI：10.1016/j.nimb.2004.01.103
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