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Fractional In Situ Pad Conditioning in Chemical Mechanical Planarization

化学机械平面化 条件作用 抛光 材料科学 分式析因设计 原位 剪切(地质) 剪切力 复合材料 析因实验 数学 冶金 化学 统计 有机化学
作者
Ruochen Han,Yasa Sampurno,Ara Philipossian
出处
期刊:Tribology Letters [Springer Science+Business Media]
卷期号:65 (1) 被引量:7
标识
DOI:10.1007/s11249-016-0803-7
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