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Understanding the adsorption mechanism of benzotriazole and its derivatives as effective corrosion inhibitors for cobalt in chemical mechanical polishing
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作者
Jie Cheng,
Yaran Lv,
Fan Zhang,
Peng Han,
Qinhua Miao,
Zhenxiang Huang
出处
期刊：
Applied Surface Science
[Elsevier BV]
日期：2024-11-02
卷期号：682: 161684-161684
被引量：30
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2024.161684
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