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Improved characterization of polycrystalline silicon film, by resonant Raman scattering
作者
Vincent Paillard,
Pascal Puech,
Pierre Temple‐Boyer,
Brigitte Caussat,
E. Scheid,
J.P. Couderc,
B. de Mauduit
出处
期刊：
Thin Solid Films
[Elsevier BV]
日期：1999-01-01
卷期号：337 (1-2): 93-97
被引量：3
标识
DOI：10.1016/s0040-6090(98)01190-0
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