First-principles theory of copper in silicon

材料科学 空位缺陷 共价键 结晶学 接受者 杂质 Atom(片上系统) 化学物理 凝聚态物理 冶金 化学 有机化学 物理 嵌入式系统 计算机科学
作者
S. K. Estreicher
出处
期刊:Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
卷期号:7 (3): 101-111 被引量:24
标识
DOI:10.1016/j.mssp.2004.06.004
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