Effect of low frequency voltage waveform on plasma uniformity in a dual-frequency capacitively coupled plasma

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标题	Effect of low frequency voltage waveform on plasma uniformity in a dual-frequency capacitively coupled plasma
网址	https://doi.org/10.1116/6.0001732
DOI	10.1116/6.0001732 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：Shahid Rauf; Peng Tian; Jason Kenney; L. Dorf 出版日期：2022-04-04
求助人	钟123 在 2026-08-26 17:55:29 发布自上海，悬赏 10 积分
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