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Tribological Property of ta-CNx:Ta Deposited via Ion Beam Assisted-Filtered Arc Deposition

材料科学 X射线光电子能谱 氮化钽 钽 无定形固体 涂层 无定形碳 离子束辅助沉积 沉积（地质） 拉曼光谱 摩擦学 氮化物 分析化学（期刊） 氮化碳 复合材料 冶金 离子 离子束 化学工程 图层（电子） 化学 沉积物 色谱法 生物化学 光催化 有机化学 生物 催化作用 古生物学 工程类 物理 光学
作者
Takayuki TOKOROYAMA,Yuya TAGAMI,Motoyuki Murashima,W.-Y. Lee,Noritsugu Umehara,Hiroyuki Kousaka
出处
期刊：Tribology International [Elsevier]
日期：2022-01-22 卷期号：168: 107450-107450 被引量：22
标识
DOI：10.1016/j.triboint.2022.107450
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