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Mechanisms and reactions during atomic layer deposition on polymers

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作者

Gregory N. Parsons,Sarah E. Atanasov,Erinn C. Dandley,Christina K. Devine,Bo Gong,Jesse S. Jur,Kyoung-Mi Lee,Christopher J. Oldham,Qing Peng,Joseph C. Spagnola,Philip S. Williams

出处

期刊：Coordination Chemistry Reviews [Elsevier BV]
日期：2013-07-24 卷期号：257 (23-24): 3323-3331 被引量：205

标识

DOI：10.1016/j.ccr.2013.07.001

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