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Initial oxidation of HF-acid treated Si(100) surfaces under air exposure studied by synchrotron radiation X-ray photoelectron spectroscopy

作者
Fumihiko Hirose,Masaya Nagato,Y. Kinoshita,S. Nagase,Yudai Narita,Maki Suemitsu
出处
期刊:Surface Science [Elsevier BV]
卷期号:601 (11): 2302-2306 被引量:6
标识
DOI:10.1016/j.susc.2007.03.034

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