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Elimination of stress induced dislocation in deep Poly Sinker LDMOS technology

LDMOS 材料科学 薄脆饼 泄漏（经济） 位错 晶体管 制作 光电子学 氧化物 压力（语言学） 电气工程 复合材料 冶金 电压 工程类 经济 医学 病理 宏观经济学 替代医学 语言学 哲学
作者
Xiangming Xu,Jingfeng Huang,Han Yu,Biao Ma,Peng-Fei Wang,David Wei Zhang
出处
期刊：Microelectronics Reliability [Elsevier BV]
日期：2015-02-01 卷期号：55 (3-4): 486-491
标识
DOI：10.1016/j.microrel.2015.01.010
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