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Energy dependence of the ion-induced sputtering yields of monatomic solids

单原子离子 溅射 离子 产量（工程） 原子物理学 化学 材料科学 物理 热力学 薄膜 纳米技术 有机化学
作者
N. Matsunami,Yasunori Yamamura,Yukikazu Itikawa,Noriaki Itoh,Yukio Kazumata,Sōji Miyagawa,Kenji Morita,Ryuichi Shimizu,H. Tawara
出处
期刊：Atomic Data and Nuclear Data Tables [Elsevier BV]
日期：1984-07-01 卷期号：31 (1): 1-80 被引量：774
标识
DOI：10.1016/0092-640x(84)90016-0
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