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作者
Andreas A. Erdmann,
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Viviana Agudelo,
Christian Freund,
Przemysław Michalak,
Dongbo Xu
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2014-09-30
卷期号：132: 21-34
被引量：40
链接
fraunhofer.de
doi.org
标识
DOI：10.1016/j.mee.2014.09.011
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