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Piezoresistive failure behaviors and mechanisms of the ITO thin films at high temperatures

压阻效应 材料科学 升华（心理学） 薄膜 薄板电阻 标度系数 溅射 熔点 溅射沉积 复合材料 制作 应变计 光电子学 纳米技术 图层（电子） 心理治疗师 替代医学 病理 医学 心理学
作者
Zhichun Liu,Junsheng Liang,Biling Wang,Zhenqi Hou,Haigang Wang,Hongyi Sun,Wenqi Lu,Qiang Li,Xin Zhao,Jun Xu,Dazhi Wang
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2023-06-08 卷期号：215: 112254-112254 被引量：5
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2023.112254
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