The positive charging effect of dielectric films irradiated by a focused electron beam

电子 空间电荷 阴极射线 原子物理学 电介质 电子散射 梁(结构) 蒙特卡罗方法 电子密度 扩散 散射 材料科学 分子物理学 物理 光学 统计 热力学 量子力学 光电子学 数学
作者
Wei‐Qin Li,Haibo Zhang
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier BV]
卷期号:256 (11): 3482-3492 被引量:38
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2009.12.061
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