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Chemical etching of freestanding N-polar GaN in control of the surface morphology

蚀刻（微加工）薄脆饼材料科学六方晶系各向同性腐蚀形态学（生物学）纳米技术干法蚀刻化学工程原子力显微镜曲面（拓扑）光电子学结晶学化学图层（电子）几何学数学工程类生物遗传学

作者

Hui Chen,Sha Han,Zhenghui Liu,Yumin Zhang,Chunyu Zhang,Zengli Huang,Kebei Chen,Wentao Song,Jianfeng Wang,Gengzhao Xu,Ke Xu

出处

期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2021-12-22 卷期号：580: 152125-152125 被引量：5

标识

DOI：10.1016/j.apsusc.2021.152125

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