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First structural tests of the CryoAC Detector silicon chip of the Athena X-ray observatory

深反应离子刻蚀 硅 薄脆饼 探测器 蚀刻（微加工） 天文台 材料科学 光学 光电子学 绝缘体上的硅 物理 反应离子刻蚀 纳米技术 图层（电子） 天体物理学
作者
Lorenzo Ferrari Barusso,P. Tarassi,Stefano Tugliani,M. De Gerone,M. Fedkevych,G. Gallucci,Manuela Rigano,A. Argan,Daniele Brienza,Matteo D’Andrea,C. Macculi,G. Minervini,L. Piro,F. Gatti
出处
期刊：Nuclear Instruments and Methods in Physics Research [Elsevier BV]
日期：2022-11-28 卷期号：1047: 167862-167862 被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.nima.2022.167862
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