SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
已入深夜，您辛苦了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！祝你早点完成任务，早点休息，好梦！
A Wafer-Level CMP Multi-Physics Modeling for IC Manufacturing
薄脆饼
晶圆规模集成
计算机科学
制造工程
工程类
工程物理
材料科学
电气工程
作者
Zhiwei Zhang,
Dong Ni
标识
DOI：10.1109/cstic64481.2025.11017846
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
⚡
2026年影响因子、分区
已更新！
(2026-6-17)
更新
📰 新增『新锐期刊分区』
(2026-3-24)
更新
💬 新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
丰富之槐
完成签到，获得积分
10
1秒前
犹豫的星星
发布了新的
文献求助
10
2秒前
彭于晏
的
应助
被
碧蓝念烟
采纳，获得
10
3秒前
读书的时候
发布了新的
文献求助
10
3秒前
跳跃的枫
完成签到，获得积分
10
4秒前
慕青
上传了
应助文件
5秒前
嗯嗯
完成签到
，获得积分
10
5秒前
Le_long
发布了新的
文献求助
10
5秒前
香蕉觅云
上传了
应助文件
6秒前
mof
完成签到，获得积分
10
7秒前
思源
上传了
应助文件
9秒前
mof
发布了新的
文献求助
10
10秒前
深情安青
的
应助
被
liia
采纳，获得
10
10秒前
zpy
完成签到，获得积分
10
10秒前
刘锦
发布了新的
文献求助
10
12秒前
时间海
完成签到，获得积分
10
13秒前
Prospect
发布了新的
文献求助
10
13秒前
充电宝
的
应助
被
张文懿
采纳，获得
10
13秒前
田様
上传了
应助文件
16秒前
李健
上传了
应助文件
16秒前
领导范儿
的
应助
被
mof
采纳，获得
10
18秒前
YYY
关闭了
YYY
的
文献求助
18秒前
读书的时候
发布了新的
文献求助
10
21秒前
wldsd
发布了新的
文献求助
10
22秒前
初空月儿
发布了新的
文献求助
10
24秒前
糖果屋
完成签到
，获得积分
10
25秒前
周一
完成签到
，获得积分
10
25秒前
酷波er
上传了
应助文件
27秒前
充电宝
上传了
应助文件
29秒前
郑糖糖糖
完成签到
，获得积分
10
29秒前
逐梦白痴
完成签到，获得积分
10
29秒前
CipherSage
上传了
应助文件
29秒前
李健的粉丝团团长
上传了
应助文件
29秒前
Q.L
完成签到，获得积分
10
29秒前
初空月儿
完成签到，获得积分
10
30秒前
吴大王
完成签到，获得积分
10
31秒前
自然如曼
完成签到
，获得积分
10
31秒前
张文懿
发布了新的
文献求助
10
32秒前
Q.L
发布了新的
文献求助
10
33秒前
Tperm
完成签到，获得积分
10
34秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
The anomeric effect
1000
Principles of town planning: translating concepts to applications
1000
1 Peter and Christ's Descent to the Dead in Its Early Christian Reception
700
Organizational Behavior
510
Management and the Arts
510
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition
510
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
纳米技术
工程类
有机化学
化学工程
生物化学
计算机科学
内科学
物理
复合材料
催化作用
细胞生物学
无机化学
光电子学
物理化学
电极
基因
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
7732307
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
9283079
关于积分的说明
20156029
捐赠科研通
7309604
什么是DOI，文献DOI怎么找？
3304015
关于科研通互助平台的介绍
2456736
邀请新用户注册赠送积分活动
2313066
今日热心研友
GingerF
13
250
My_magnum_opus
4
280
Criminology34
15
150
学术文献互助
2
150
heekkll
9
70
然宝
11
40
DW
8
60
XX
13
随风沙ZYX
130
无极微光
3
60
Kao
6
10
skearthy
60
Juvenilesy
60
羽木风言
60
初景
60
aaaa
60
你嵙这个期刊没买
50
cocohan
50
Nole
2
30
秋风
2
30
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
GingerF
My_magnum_opus
Criminology34
学术文献互助
heekkll
然宝
DW
XX
随风沙ZYX
无极微光
Kao
skearthy
Juvenilesy
羽木风言
初景
aaaa
你嵙这个期刊没买
cocohan
Nole
秋风
皖公网安备34019202002308
