Reliability of gold wire leads for MEMS gyroscopes under a thermo-mechanical coupling field

陀螺仪 微电子机械系统 可靠性(半导体) 联轴节(管道) 材料科学 领域(数学) 机械工程 电子工程 工程类 光电子学 物理 航空航天工程 复合材料 量子力学 功率(物理) 数学 纯数学
作者
Yingyu Xu,Chunhua He,Qinwen Huang,Guizhen Yan
标识
DOI:10.1109/nems60219.2024.10639898
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