Lanthanum doped hafnium oxide thin films deposited on a lateral high aspect ratio structure using atomic layer deposition: A comparative study of surface composition and uniformity using x-ray photoelectron spectroscopy and time-of-flight secondary ion mass spectrometry

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作者
Jennifer Emara,Alireza M. Kia,Sascha Bönhardt,Clemens Mart,Kati Kühnel,Nora Haufe,Riikka L. Puurunen,Mikko Utriainen,Wenke Weinreich
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier BV]
卷期号:: 161408-161408
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2024.161408
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