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A sensitive, robust, high temperature resistant flexible piezoelectric sensor based on SiC/AlN hybrid thin films
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作者
Xing Jia,
Zhaohui Weng,
Haofeng Qiu,
Wei Xue,
Ningbo Liao
出处
期刊：
Surfaces and Interfaces
[Elsevier BV]
日期：2025-04-08
卷期号：64: 106419-106419
被引量：6
标识
DOI：10.1016/j.surfin.2025.106419
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