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Enhanced plasma corrosion resistance of Y2O3/Al2O3/Al multilayer substrate for fluorine functional interfaces

材料科学 腐蚀 氟 等离子体 基质（水族馆） 抗性（生态学） 化学工程 复合材料 冶金 生态学 海洋学 物理 量子力学 工程类 生物 地质学
作者
Jong-Soo Byeon,Ji Min Kim,Ji Young Park,Yong‐Ho Choa
出处
期刊：Ceramics International [Elsevier BV]
日期：2025-05-31 卷期号：51 (22): 35566-35572 被引量：6
标识
DOI：10.1016/j.ceramint.2025.05.278
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