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The effects of CF4 plasma treatment on the performance, gate bias stability, and defect characteristics of low-temperature indium-gallium-tin-oxide thin-film transistors

材料科学镓铟锡薄膜晶体管氧化铟锡等离子体薄膜氧化物光电子学晶体管纳米技术图层（电子）冶金电气工程物理工程类量子力学电压

作者

Dongbhin Kim,Kyeong‐Bae Lee,Junho Noh,DongHyun Kim,Hyunsoo Park,Byoungdeog Choi

出处

期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
日期：2025-02-13 卷期号：191: 109381-109381

标识

DOI：10.1016/j.mssp.2025.109381

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