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Realization of 4-inch diameter and thick β-Ga 2 O 3 single crystals using the vertical Bridgman method

实现(概率) 材料科学 光电子学 半导体 单晶 功率(物理) Crystal(编程语言) 氧化物 半导体材料 半导体器件 光学
作者
Dongyang Huang,Haotian Huang,Ziqian Xu,Yongqiang Jin,Ziming Wang,Bowen Jiang,Mingyan Pan,Ning Jia,Hongji Qi
出处
期刊:CrystEngComm [Royal Society of Chemistry]
卷期号:28 (14): 2226-2233
标识
DOI:10.1039/d5ce01023c
摘要

Large-diameter β-Ga 2 O 3 bulk single crystals (4-inch, >30 mm thick) were grown by a modified vertical Bridgman method, yielding high structural quality and low-defect wafers for power device applications.
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