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Chemical Vapor Deposition in Ultra Scale Integration Cell using Chalcogenide Materials for Phase Change Memory
作者
Jun-Ku Ahn,
Kyung Park,
Hyun‐Jin Cho,
S.V.N. Pammi,
Sung-Gi Hur,
Soon‐Gil Yoon
出处
期刊：
Meeting abstracts
[Institute of Physics]
日期：2009-05-01
卷期号：MA2009-01 (24): 1009-1009
链接
iop.org
doi.org
标识
DOI：10.1149/ma2009-01/24/1009
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