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Impact of Gate Length and Doping Variation on the DC and Analog/RF Performance of sub - 3nm Stacked Si Gate-All-Around Nanosheet FET

纳米片 材料科学 排水诱导屏障降低 兴奋剂 光电子学 晶体管 阈值电压 纳米技术 电气工程 电压 工程类
作者
Nisha Yadav,Sunil Jadav,Gaurav Saini
出处
期刊：Silicon [Springer Science+Business Media]
日期：2022-07-14 卷期号：15 (1): 217-228 被引量：9
标识
DOI：10.1007/s12633-022-01989-w
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