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Plasma-enhanced atomic layer deposition of molybdenum oxides using molybdenum hexacarbonyl as the precursor

原子层沉积 图层(电子) 沉积(地质) 材料科学 无机化学 化学 化学工程 纳米技术 工程类 古生物学 沉积物 生物
作者
Pi-Chun Juan,Kuei-Chih Lin,Wen-Hao Cho,Chi‐Chung Kei,Wei-Hsuan Hung,Hao-Pin Shi
出处
期刊:Materials Chemistry and Physics [Elsevier BV]
卷期号:288: 126395-126395 被引量:5
标识
DOI:10.1016/j.matchemphys.2022.126395
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