六甲基二硅氧烷
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碳膜
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物理
有机化学
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作者
Yan-Yu Liao,Wei-Bo Liao,Cheng-Chung Jaing,Ya-Chen Chang,Cheng‐Chung Lee,Chien‐Cheng Kuo
标识
DOI：10.1364/oic.2016.td.10
摘要
Transparent diamond-like carbon thin films were made by radio frequency magnetron sputtering with methane and hexamethyldisiloxane as gas mixtures. Transmittance could reach 90 % with incorporation of hexamethyldisiloxane by increasing the silicon oxide structure.
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