Seed layer corrosion of Damascene structures in copper sulfate electrolytes

作者
Nicholas M. Martyak,P. Ricou
出处
期刊:Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
卷期号:6 (4): 225-233 被引量:16
标识
DOI:10.1016/j.mssp.2003.09.002

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