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Seed layer corrosion of Damascene structures in copper sulfate electrolytes
作者
Nicholas M. Martyak,
P. Ricou
出处
期刊:
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期:2003-08-01
卷期号:6 (4): 225-233
被引量:16
标识
DOI:10.1016/j.mssp.2003.09.002
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