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Theoretical Model of Thermal Stress in the Film-Substrate System of Optical Thin Film

材料科学 基质（水族馆） 残余应力 复合材料 压力（语言学） 图层（电子） 薄膜 双层（生物学） 热膨胀 光学 纳米技术 语言学 海洋学 哲学 物理 地质学
作者
Yanchao Shi,Jiang Xu,Yang Li,Zheng Liu,Kaifeng Zhang,Junhong Su
出处
期刊：Journal of Electronic Materials [Springer Nature]
日期：2022-08-16 卷期号：51 (10): 5937-5945 被引量：1
标识
DOI：10.1007/s11664-022-09819-w
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