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Effects of pad characteristics on surface quality of soft-brittle crystals in water dissolution continuous polishing

抛光溶解材料科学脆性质量（理念）复合材料化学工程工程类物理量子力学

作者

Zhipeng Cheng,Xuanping Wang,Hang Gao,Dongming Guo

出处

期刊：Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology [Elsevier BV]
日期：2025-01-25 卷期号：93: 368-380

标识

DOI：10.1016/j.precisioneng.2025.01.015

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