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An extensive theoretical quantification of secondary electron emission from silicon

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作者

M. S. S. Khan,Shifeng Mao,Yanbo Zou,Dabao Lu,Bo Da,Y.G. Li,Z.J. Ding

出处

期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2023-06-02 卷期号：215: 112257-112257 被引量：15

标识

DOI：10.1016/j.vacuum.2023.112257

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