Co-deposition of TaC and SiC by chemical vapor deposition: A systematical thermodynamic exploration

化学气相沉积 沉积(地质) 材料科学 燃烧化学气相沉积 化学工程 纳米技术 地质学 薄膜 碳膜 工程类 地貌学 沉积物
作者
Wei Huang,Junjun Wang,Pengjian Lu,Qingfang Xu,Chitengfei Zhang,Jian Peng,Chuanbin Wang,Rong Tu,Song Zhang
出处
期刊:Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
卷期号:491: 131148-131148 被引量:3
标识
DOI:10.1016/j.surfcoat.2024.131148
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