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Fabrication of 128 × 128 MEMS tunable F-P cavity optical filter array with surface micromachining

微电子机械系统表面微加工制作材料科学体微机械加工光电子学曲面（拓扑）光学物理医学替代医学病理几何学数学

作者

Qinghua Meng,Guohua Huang,Jianjun Lai,Dongxin Fan,Kezhi Zhang

出处

期刊：Infrared Physics & Technology [Elsevier BV]
日期：2020-01-16 卷期号：105: 103199-103199 被引量：10

标识

DOI：10.1016/j.infrared.2020.103199

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