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作者

S. Wang,Weisong Wang,Chris Yakopcic,Eunsung Shin,Guru Subramanyam,Tarek M. Taha

出处

期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier BV]
日期：2016-10-19 卷期号：168: 37-40 被引量：36

标识

DOI：10.1016/j.mee.2016.10.007

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