SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
Molecular dynamics simulation of Si and SiO2 reactive ion etching by fluorine-rich ion species
蚀刻（微加工）
材料科学
反应离子刻蚀
离子
硅
氮化硅
分子动力学
氟
分析化学（期刊）
化学物理
纳米技术
光电子学
计算化学
化学
冶金
图层（电子）
有机化学
色谱法
作者
Erin Joy Capdos Tinacba,
Michiro Isobe,
Kazuhiro Karahashi,
Satoshi Hamaguchi
出处
期刊：
Surface & Coatings Technology
[Elsevier BV]
日期：2019-10-14
卷期号：380: 125032-125032
被引量：30
标识
DOI：10.1016/j.surfcoat.2019.125032
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
⚡
2026年影响因子、分区
已更新！
(2026-6-17)
更新
📰 新增『新锐期刊分区』
(2026-3-24)
更新
💬 新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
Lucas
上传了
应助文件
刚刚
Aurora
完成签到，获得积分
10
刚刚
欧洲知道我
发布了新的
文献求助
10
1秒前
赘婿
上传了
应助文件
1秒前
cdercder
上传了
应助文件
2秒前
李健的粉丝团团长
的
应助
被
qin202569
采纳，获得
10
2秒前
研友_VZG7GZ
的
应助
被
灰灰
采纳，获得
10
2秒前
唠叨的汉堡
发布了新的
文献求助
10
2秒前
DURIAN
发布了新的
文献求助
10
2秒前
张强
发布了新的
文献求助
10
3秒前
404
发布了新的
文献求助
10
3秒前
北从南北
完成签到，获得积分
10
3秒前
健忘不可
上传了
应助文件
3秒前
噜噜净
完成签到，获得积分
10
4秒前
含糊的寄柔
发布了新的
文献求助
10
4秒前
无辜的摇伽
完成签到，获得积分
10
4秒前
Komorebi
完成签到
，获得积分
10
4秒前
赤壁
发布了新的
文献求助
10
4秒前
Edgar_Zomboss
发布了新的
文献求助
10
4秒前
健忘的台灯
完成签到
，获得积分
10
5秒前
小马甲
的
应助
被
吴逸彪
采纳，获得
10
5秒前
wwww
上传了
应助文件
5秒前
稳重面包
发布了新的
文献求助
10
5秒前
共享精神
上传了
应助文件
5秒前
可积
完成签到，获得积分
10
6秒前
书生
完成签到
，获得积分
10
6秒前
领导范儿
的
应助
被
害羞白云
采纳，获得
10
6秒前
NexusExplorer
上传了
应助文件
7秒前
顾衡毓
发布了新的
文献求助
10
7秒前
传奇3
的
应助
被
忧虑的勒
采纳，获得
10
7秒前
Owen
上传了
应助文件
7秒前
汉堡包
上传了
应助文件
7秒前
今后
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
7秒前
wanci
的
应助
被
xxz
采纳，获得
10
7秒前
星辰大海
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
7秒前
w1
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
8秒前
Jasper
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
8秒前
Akim
上传了
应助文件
8秒前
李健的粉丝团团长
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
8秒前
Nole
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
8秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
Autoparametric Resonance in Mechanical Systems
1000
Effects of Two Weeks of Red Light Therapy on Choroidal Thickness and Axial Length in Young Adults
700
Cosmos as Art Object: Studies in Plato's Timaeus and Other Dialogues
600
Management and the Arts
510
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition
510
Auslegungsgeschichte
500
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
纳米技术
工程类
有机化学
化学工程
生物化学
计算机科学
内科学
物理
复合材料
催化作用
细胞生物学
无机化学
光电子学
物理化学
电极
基因
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
7663416
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
9233185
关于积分的说明
19862616
捐赠科研通
7232023
什么是DOI，文献DOI怎么找？
3282509
关于科研通互助平台的介绍
2441901
邀请新用户注册赠送积分活动
2283426
今日热心研友
cdercder
185
1540
wwww
195
1390
Nole
156
1670
东方元语
94
2050
馆长
2298
Dean
23
1220
无奈的梦凡
48
850
xing_xing
42
870
清新的归尘
52
600
OK
1100
渡人舟
33
670
奔跑
60
400
沉默笑蓝
45
530
Kao
48
420
sagitar
28
560
aajhajkahna
44
380
onlyone
26
430
Criminology34
28
410
ASCK
676
传统的博涛
31
320
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
cdercder
wwww
Nole
东方元语
馆长
Dean
无奈的梦凡
xing_xing
清新的归尘
OK
渡人舟
奔跑
沉默笑蓝
Kao
sagitar
aajhajkahna
onlyone
Criminology34
ASCK
传统的博涛
皖公网安备34019202002308
