Molecular dynamics simulation of Si and SiO2 reactive ion etching by fluorine-rich ion species

蚀刻(微加工) 材料科学 反应离子刻蚀 离子 氮化硅 分子动力学 分析化学(期刊) 化学物理 纳米技术 光电子学 计算化学 化学 冶金 图层(电子) 有机化学 色谱法
作者
Erin Joy Capdos Tinacba,Michiro Isobe,Kazuhiro Karahashi,Satoshi Hamaguchi
出处
期刊:Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
卷期号:380: 125032-125032 被引量:30
标识
DOI:10.1016/j.surfcoat.2019.125032
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
欣慰的楷瑞完成签到 ,获得积分10
刚刚
可靠松鼠发布了新的文献求助10
刚刚
简单勒完成签到,获得积分20
刚刚
1秒前
陽15完成签到,获得积分10
1秒前
2秒前
2秒前
2秒前
3秒前
zhuangzhuang完成签到 ,获得积分10
3秒前
3秒前
lllllll完成签到,获得积分20
4秒前
情怀应助Elva采纳,获得10
5秒前
keke发布了新的文献求助10
5秒前
5秒前
5秒前
6秒前
段培炎发布了新的文献求助20
6秒前
袁志阳完成签到,获得积分10
6秒前
6秒前
MchemG应助Crane采纳,获得10
7秒前
lllllll发布了新的文献求助10
7秒前
stupid发布了新的文献求助10
7秒前
任白993发布了新的文献求助10
7秒前
儒雅龙发布了新的文献求助10
7秒前
8秒前
hh发布了新的文献求助30
8秒前
白开水完成签到,获得积分10
8秒前
9秒前
10秒前
隐形曼青应助刻苦从阳采纳,获得10
10秒前
11秒前
kai发布了新的文献求助10
12秒前
逃跑的想表白的你猜完成签到,获得积分10
12秒前
gao0505完成签到,获得积分10
13秒前
13秒前
哈哈发布了新的文献求助10
13秒前
huihu000000发布了新的文献求助10
13秒前
Owen应助stupid采纳,获得10
14秒前
九日完成签到,获得积分10
14秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition 510
Discerning Saints: Moralization of Intrinsic Motivation and Selective Prosociality at Work 500
Handbuch Trainingswissenschaft – Trainingslehre 500
Additive Manufacturing Design and Applications (ASM Handbook, Volume 24A) 500
Variations: A More Diverse Picture of Contemporary Art 400
Induction Heating and Heat Treatment (ASM Handbook, Volume 4C) 300
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 内科学 物理 复合材料 催化作用 细胞生物学 无机化学 光电子学 物理化学 电极 基因
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 7588601
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 9166797
关于积分的说明 19619881
捐赠科研通 7168561
什么是DOI,文献DOI怎么找? 3267086
关于科研通互助平台的介绍 2431963
邀请新用户注册赠送积分活动 2259040