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Laser direct writing of single-crystal silicon nanostructures from liquid cyclohexasilane

材料科学 硅 外延 基质（水族馆） 光电子学 激光器 纳米结构 纳米技术 混合硅激光器 透射电子显微镜 半导体 晶体硅 纳米晶硅 纳米光刻 激光功率缩放 热的 电子衍射 衍射
作者
Xingjie Yang,Ping Chen,Zhikun Liu
出处
期刊：Additive manufacturing [Elsevier BV]
日期：2025-09-01 卷期号：114: 105029-105029
标识
DOI：10.1016/j.addma.2025.105029
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