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The effect of stress on HfO2-based ferroelectric thin films: A review of recent advances

材料科学铁电性压力（语言学）薄膜光电子学纳米技术工程物理电介质物理语言学哲学

作者

Runhao Han,Peizhen Hong,Shuai Ning,Qiang Xü,Mingkai Bai,Jing Zhou,Kaiyi Li,Fei Liu,Feng Shi,Feng Luo,Zongliang Huo

出处

期刊：Journal of Applied Physics [American Institute of Physics]
日期：2023-06-22 卷期号：133 (24): 240702-240702 被引量：38

标识

DOI：10.1063/5.0146998

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