ZrC epitaxy on Si(111)

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作者
T. Aizawa,Shigeki Otani,I. Ohkubo,Takao Mori
出处
期刊:Journal of vacuum science & technology [American Institute of Physics]
卷期号:33 (6) 被引量:1
标识
DOI:10.1116/1.4930317
摘要

ZrC epitaxy was examined on ZrC(111) (homoepitaxy) and on several reconstructed Si(111) surfaces using physical vapor deposition: clean 7 × 7, 3×3-Al, 3×3-Ga, and 3×3-Ag. Layer-by-layer homoepitaxy was realized at a temperature as low as 400 °C on clean ZrC(111). Even at room temperature, it grew epitaxially although the surface became rough. On a Si(111) substrate at 400–600 °C, ZrC grew epitaxially but with a rough surface. Above 800 °C, ZrC and Si reacted to produce other silicide phases. The epitaxial relation was (111)ZrC∥(111)Si and [11¯0]ZrC∥[11¯0]Si, cube-on-cube, which was not influenced by the substrate reconstruction. Actually, Si was detected on all film surfaces grown at temperatures above 400 °C, which was probably diffused from the substrate onto the surface. The authors clarified an important problem: surface-segregated Si disturbs the layer-by-layer epitaxy of ZrC.

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