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Investigation of the anti-adhesion layers for nanoimprint molding

材料科学粘附化学气相沉积复合材料聚二甲基硅氧烷图层（电子）模具三氯氢硅造型（装饰）接触角纳米技术化学工程硅光电子学工程类

作者

Cheng‐Tang Pan,Tsung‐Lin Yang,Ching‐Yao Su,C. H. Chao,Z. K. Wang,Sheng-Chih Shen

出处

期刊：Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems [Springer Science+Business Media]
日期：2016-10-20 卷期号：23 (6): 2207-2214 被引量：2

标识

DOI：10.1007/s00542-016-3175-x

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